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空气轴承系统——ALIO纳米级高精度运动系统

简要描述:空气轴承系统——ALIO纳米级高精度运动系统是一种用气浮导轨或空气轴承做支撑的精密运动装置,适用于下一代TRUE NANO®精密应用。空气轴承系统提供出色的定位性能,适用于高精度要求的应用。

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  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2023-07-07
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品牌昊量光电产地类别进口
应用领域化工,综合

空气轴承系统——ALIO纳米级高精度运动系统

空气轴承系统产品描述:

ALIO Industries推出了6-D Nano Positioning®空气轴承运动系统,6-D指运动的3014个维度;线性,直线度,平面度,俯仰,偏航和滚动。Nano Precision 指的是在 +/- 450 nm 水平或以下的性能证明文件。6-D Nano Precision® 是指在纳米级精度下运动的身体的所有 6 个自由度的性能证明文件。空气轴承系统适用于制造、检测/维修和计量等各种应用领域。ALIO Industries空气轴承运动系统,是一种用气浮导轨或空气轴承做支撑的精密运动装置,适用于下一代TRUE NANO®精密应用。空气轴承系统提供出色的定位性能,适用于高精度要求的应用。空气轴承系统适用于多个行业,包括光伏、半导体、喷墨沉积、光刻和光学检测等领域。


空气轴承系统——ALIO纳米级高精度运动系统产品特点:

  • 零摩擦和无振动的平滑移动

  • 速度稳定超高精度的移动

  • 运动不产生颗粒,适用于无尘环境

  • 轴承损耗低,表面不易损坏


定制二维平面 XY 空气轴承系统



由于两个轴都使用相同的高精度花岗岩底座作为参考,因此可以在数百毫米(甚至米)的行程范围内实现仅一微米的平面度。


这种高刚性平面 xy 空气轴承运动系统系列提供亚微米精度和 +/- 100 纳米双向可重复性,即使在批量机器的批量生产中也是如此生产。凭借 200 毫米至 800 毫米的标准版本,以及可定制超过 3 米的 X 和 Y 行程,该产品系列在任何类型的测量/计量应用和半导体行业中都具有True Nano®精度。

强大的线性直接驱动器和空气轴承使这些运动系统非常适合高精度、高吞吐量的应用,这些应用需要平滑的连续扫描或非常长距离的快速步进和稳定过程。



定制空气轴承平衡式Z轴位移台(垂直位移台)



ALIO 的直线电机驱动、带空气轴承平衡的垂直 Z 升降平台系列的特点是外形低矮且行程极长。使用高精度交叉滚子轴承和线性编码器,平台配备无摩擦空气轴承气缸。与 GeoSymmetric 系列平台类似,这些长行程 Z 平台具有配重、电机、轴承和编码器,所有这些都放置在平台的大致中心线上。有效负载可以直接安装到舞台的表面。

Z-ABCB 系列——配备无摩擦空气轴承气缸平衡装置——可在 200 毫米或以上承载高达 25 公斤的有效载荷。


定制空气轴承旋转台




当需要很高的旋转精度时,制造商可以从 ALIO 的空气轴承旋转平台系列中进行选择。空气轴承允许载物台在没有机械接触的情况下移动,因此移动无摩擦且无磨损。即使在高速或旋转平台垂直安装时,摆动、偏心或跳动等误差也尽可能消除,以接近平滑的 360 度运动。


如果您对我们全新的空气轴承系统感兴趣,请与我们联系,了解更多详细信息。我们将为您提供定制的解决方案,满足您的精密运动和定位需求。


更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电

关于昊量光电:

上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等,涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等;可为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等服务。

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